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基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源 期刊论文
中国激光/Chinese Journal of Lasers, 2024, 卷号: 51, 期号: 07, 页码: 172-179
作者:  李逵;  孟润宇;  李睿晅;  张光银;  姚铭杰;  徐豪;  王雨童;  李捷;  张晓世;  樊仲维
Adobe PDF(1578Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：138/0  |  提交时间：2024/05/06
激光器  高次谐波  极紫外激光  13.5 nm光源  软X射线  飞秒激光