一种F-P标准具平行度检测校准方法

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	一种F-P标准具平行度检测校准方法
	马琳; 金振宇; 朱瑾; 常亮
申请（专利权）人	中国科学院云南天文台
专利号	ZL202411783866.4
申请号	CN202411783866.4
	2025-01-07
申请日期	2024-12-06
公开（公告）号	CN119268607A
公开日期	2025-01-07
IPC 分类号	G01B11/26 ; G01M11/02
授权国家	中国
专利类型	发明
专利状态	公开
学科领域	物理学 ; 光学 ; 机械工程 ; 仪器仪表技术 ; 光学技术与仪器
产权排序	1
摘要	本发明属于光学领域，本发明公开了一种F‑P标准具平行度检测校准方法，具体是采用带有子孔径的掩膜对法珀标准具的通光孔径进行分割，通过光谱仪同时获取法珀标准具不同区域的光谱曲线，通过比对标准具局部区域光谱曲线的相对偏移，精确测量各局部区域平板间距的差异，实现法珀标准具平行度的检测和实时校准，不需要精密的移动机构、不受光源稳定性和检测环境的影响，测量和校准精度可以达到纳米量级。
主权项	1.一种F-P标准具平行度检测校准方法，所述F-P标准具由两块平行的平板组成，所述平板为熔石英材质，且设有通光孔径，其特征在于，具体包括如下步骤：步骤1：在法珀标准具的通光孔径上放置掩膜，掩膜边缘四周成对分布n个通光的子孔径，每个子孔径与法珀标准具的区域相匹配，且对应区域的平板间距为hn；步骤2：宽波段连续谱光源发射的光经过准直后形成准直光束，分别射入掩膜上的n个子孔径及其对应的法珀标准具区域，然后经过成像镜汇聚到焦面上；步骤3：遮挡掩膜上的子孔径，仅保留一对方向对应的子孔径通光，用光谱仪测量焦面上像点的光谱曲线；当法珀标准具的两块平板不平行时，则两个子孔径对应的平板间距hn不一致，此时两个子孔径得到两条光谱曲线；步骤4：比对上述两条光谱曲线的偏移量Δλ，（1）并根据公式（1）计算出两个子孔径对应的平板间距的差值Δh，h为间距，λ为波长；步骤5：两个子孔径的中心距离为L，（2）根据公式（2）及这对子孔径的方向得到法珀标准具的两块平板在此方向上的相对倾斜量Δθ；步骤6：根据平板倾斜量Δθ及倾斜方向，调整法珀标准具两块平板间的垫片（或隔圈），同时观察两条光谱曲线的平移情况，当两条光谱曲线完全重合时，则说明法珀标准具在此方向平行；步骤7：更换掩膜上的通光子孔径，重复步骤3到步骤6；步骤8：令掩膜上的所有子孔径都通光，当所有子孔径的光谱曲线都重合时，则法珀标准具的两块平板完全平行。
语种	中文
专利代理人	王莹
代理机构	北京智行阳光知识产权代理事务所（普通合伙）
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/27967
专题	天文技术实验室抚仙湖太阳观测和研究基地
作者单位	中国科学院云南天文台, 650216云南省昆明市官渡区羊方旺396号
第一作者单位	中国科学院云南天文台
推荐引用方式 GB/T 7714	马琳,金振宇,朱瑾,等. 一种F-P标准具平行度检测校准方法. ZL202411783866.4[P]. 2025-01-07.

条目包含的文件
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CN119268607A-一种F-P标准（890KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	浏览请求全文