A Fully Automatic High-Resolution EUV Monochromator for EUV metrology applications

doi:10.1109/CLEO-PR60912.2024.10676889

YNAO OpenIR > 南方基地

	A Fully Automatic High-Resolution EUV Monochromator for EUV metrology applications
	Cui JF(崔峻烽)1,2,3 ; Meng RY(孟润宇)1,2,3 ; Zhao, Bianli 1,4; Yang, Hao 1; Chen, Jianhui 1; Zhang, Xiaoshi 1,3
会议录名称	16th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO-PR 2024
	2024
DOI	10.1109/CLEO-PR60912.2024.10676889
产权排序	第2完成单位
收录类别	EI
会议名称	16th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO-PR 2024
会议日期	2024-08-04
会议地点	Incheon, Korea, Republic of
摘要	We develop a fully automatic EUV monochromator, and demonstrate real-time wavelength tuning and in-situ and in-line spectrum measurement. This is an ideal tool for EUV metrology applications. © 2024 IEEE.
资助项目	N/A
项目资助者	N/A
语种	英语
学科领域	天文学
文章类型	Conference article (CA)
ISBN号	9798350372076
URL	查看原文
EI入藏号	20244217212795
EI主题词	Monochromators
EI分类号	1301.1.3.1 - 741.3 Optical Devices and Systems - 941.5¬≠ - 942.1.3 - 942.1.7
引用统计
文献类型	会议论文
条目标识符	http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/27650
专题	南方基地
作者单位	1.School of Physics and Astronomy, Yunnan University, Yunnan, Kunming, 650091, China; 2.Yunnan Astronomical Observatory, Chinese Academy of Sciences, Yunnan, Kunming, 650011, China; 3.University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100049, China; 4.Southwest United Graduate School, Yunnan, Kunming, 650092, China
第一作者单位	中国科学院云南天文台
推荐引用方式 GB/T 7714	Cui JF,Meng RY,Zhao, Bianli,et al. A Fully Automatic High-Resolution EUV Monochromator for EUV metrology applications[C],2024.

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